1、半导体洁净车间的洁净生产区

洁净生产区的气体洁净室等级需根据商品生产工艺流程的规定来明确，这是洁净工程建筑厂房设计的关键依据，客户除了出示基本的施工工程图纸外，还应出示所生产制造商品的各种各样设计标准，如温度、湿度、气旋流形要求，生产所需原辅材料特性及水、电、气要求等。

2、机器设备区

即空调净化系统软件、公用电厂等，是洁净厂房的关键组成部分。在半导体洁净车间设计中，空调净化机器设备、制冷供暖应布置在净化车间内，便于管理，减少管道长度。

3、洁净辅助间

这是半导体洁净车间不可或缺的房间，房间的气体洁净室等级除开按顾客规定开展设计外，均按《洁净厂房设计规范》GB50073-2001的要求设计。

4、管理区

这是半导体洁净车间内的商品加工过程的企业生产管理、技术水平的管理和必需的实际操作工作人员的管理区域。